工業電子超純水設備大多采用反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配制備電子工業超純水的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

工業電子超純水設備性能：

1、超純水設備反滲透系統采用全自動方式控制，主要元件采用進口元件，穩定性高，操作簡單方便。

2、超純水設備配備濃水調節閥，操作方便。

3、超純水設備配備有紫外線及膜濾器，防止細菌對EDI及水質的影響。

4、超純水設備通過專業技術，確保EDI系統短時停機或長時間停機時水質保持穩定。

5、超純水設備采用*EDI膜堆，性能穩定，使用壽命長，連續出水水質穩定無波動，“全填充"濃水室，不需加鹽和濃水循環。

6、超純水設備中的EDI流量計采用德國進口斯德寶品牌的帶磁感應浮子流量計，可預防因濃水通道堵塞或其他設備故障引起的無濃水產水而對膜堆造成的損壞。

7、超純水設備具有無水保護和高、低壓力保護等多種裝置安全功能。

8、超純水設備所有控制采用全自動方式，主要元件采用進口元件，穩定性高，操作簡單方便。